OLED 조명용 Device 제작에 적합
    R&D 및 PP, MP line 적용 가능
    고객의 요청에 의한 다양한 Layout 구성 가능

    -  구       성     Loadlock, Pre-Treatment, Organic & Metal, Mask Stock등
    -  특       징     기판 Size : 370mm * 470mm ~
                Mechanical Align Unit
                Alpha-plus의 양산 기술로 제작된 Source 사용
    -  적용 분야     OLED, Display 제작

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