Vacuum System

본문 바로가기

제품소개


Vacuum System

세계 최고 수준의 진공기술 연구개발과 양산화, 그 중심에는 ㈜알파플러스가 있습니다.

Vacuum System

OLED System

R&D System

  • 효율적인 연구개발용 System
  • 고객의 요청에 의한 Layout 구성 가능
  • 구성

    Pre-Treatment, Organic, Metal, Encapsulation Unit

  • 특징

    • 기판 Size : 100mm × 100mm ~ 150mm × 150mm
    • Mechanical Align Unit
    • ALPHAPLUS의 양산 기술로 제작된 Source 사용
  • 적용 분야

    OLED Device 제작, 물질 개발

OLED System

Cluster System

  • OLED Device 제작 및 재료 연구에 최적화 된 System
  • R&D 및 PP, MP line 적용가능
  • 고객의 요청에 의한 다양한 Layout 구성
  • 구성

    Loadlock, Pre-Treatment, Organic, Metal, Transfer, Buffer, Encapsulation Unit

  • 특징

    • 기판 Size : 200mm × 200mm ~
    • Auto Align Unit
    • Mechanical Align
    • ALPHAPLUS의 양신 기술로 제작된 Source 사용
  • 적용 분야

    OLED, Micro Display 등의 Device 제작

OLED System

In Line System

  • OLED 조명용 Device 제작에 적합
  • R&D 및 PP, MP line 적용 가능
  • 고객의 요청에 의한 다양한 Layout 구성 가능
  • 구성

    Loadlock, Pre-Treatment, Organic & Metal, Mask Stock등

  • 특징

    • 기판 Size : 370mm × 470mm ~
    • Mechanical Align Unit
    • ALPHAPLUS의 양산 기술로 제작된 Source 사용
  • 적용 분야

    OLED, Display 제작


그누보드5