Vacuum System
OLED System
R&D System 
- 효율적인 연구개발용 System
- 고객의 요청에 의한 Layout 구성 가능
구성
Pre-Treatment, Organic, Metal, Encapsulation Unit
특징
- 기판 Size : 100mm × 100mm ~ 150mm × 150mm
- Mechanical Align Unit
- ALPHAPLUS의 양산 기술로 제작된 Source 사용
적용 분야
OLED Device 제작, 물질 개발
OLED System
Cluster System
- OLED Device 제작 및 재료 연구에 최적화 된 System
- R&D 및 PP, MP line 적용가능
- 고객의 요청에 의한 다양한 Layout 구성
구성
Loadlock, Pre-Treatment, Organic, Metal, Transfer, Buffer, Encapsulation Unit
특징
- 기판 Size : 200mm × 200mm ~
- Auto Align Unit
- Mechanical Align
- ALPHAPLUS의 양산 기술로 제작된 Source 사용
적용 분야
OLED, Micro Display 등의 Device 제작
OLED System
In Line System
- OLED 조명용 Device 제작에 적합
- R&D 및 PP, MP line 적용 가능
- 고객의 요청에 의한 다양한 Layout 구성 가능
구성
Loadlock, Pre-Treatment, Organic & Metal, Mask Stock등
특징
- 기판 Size : 370mm × 470mm ~
- Mechanical Align Unit
- ALPHAPLUS의 양산 기술로 제작된 Source 사용
적용 분야
OLED, Display 제작
