Evaporation Source
Evaporation Source
Point Source
- 5.5G/Q and 6G/H 양산 라인 적용
- 유기물, 무기물 증착
- 증착공정, 증착물질에 따른 다양한 모델 구성
- Flexible OLED 공정 최적화
- 향상된 가용 시간
- Clogging, Splash, Spitting 방지 기술 적용
제품설명
- Evaporation Souce는 내부에 열원이 있어 도가니를 높은 온도로 가열하면 도가니속 재료도 함께 가열되어 증발됩니다.
- 이는 진공속에서 나노크기의 얇은 박막(금속, 비금속, 산화물, 화합물)을 만들수 있으며, DISPLAY 또는 반도체를 제조할 때 필요한 핵심 부품입니다.